?菲希爾MPO涂層測厚儀操作手冊

菲希爾MPO涂層測厚儀操作說明：?

菲希爾涂層測厚儀MPOR沒有專門的開關(guān)。

?打開儀器

• 按[OK]鍵開機。

?請注意!

如果?菲希爾涂層測厚儀MPOR放在非鐵磁性或不導(dǎo)電材料上，顯示屏?xí)@示錯誤信息“Er6”及“- - - - ”

不要通過手指壓迫傳感器來開啟儀器！這樣可能會導(dǎo)致錯誤的測量結(jié)果。

菲希爾MPO涂層測厚儀下一步操作：關(guān)閉儀器 / 自動關(guān)閉

一分鐘不使用，?MPO涂層測厚儀會自動關(guān)機。 （關(guān)機= 儀器沒有任何顯示）。

?2 測量涂鍍層厚度

1. 涂層測厚儀MPO開啟后，把儀器放在要測量工件上，等待儀器發(fā)出測量聲響。這種方式可以自動開啟儀器。

2. 把儀器提離工件。測量聲響后顯示讀數(shù)。

　　請注意!

• 若太早提起儀器(未有聲響前)，錯誤信息“Er6”會出現(xiàn)。重復(fù)步驟1。
• 兩次測量間隔不少于2秒鐘。
• 在測量前后，儀器MPO應(yīng)與樣品保持一定距離，不應(yīng)在樣品上徘徊，提起的小距離為5mm（200mils）。

德國菲希爾MPO測厚儀測量數(shù)據(jù)存儲在儀器的數(shù)據(jù)存儲器中，更多內(nèi)容請參考 3“測量數(shù)據(jù)存儲器”

用MP0 涂層測厚儀測量數(shù)據(jù)存儲器，儀器多可以儲存999個測量數(shù)據(jù)。

該存儲器可以理解為一份列表，新讀數(shù)將被添加到該列表的頂端。存儲器數(shù)據(jù)已滿時，將出現(xiàn)錯誤提示“Er4”。

如何查看讀數(shù)列表

1. 用[5]鍵或[6]鍵可翻看測量數(shù)據(jù)。
2. 翻過個或者后一個測量數(shù)據(jù)后，屏幕將顯示“- - - - “并維持1秒鐘左右。?
   任何時候您都可以繼續(xù)測量

?3 刪除所有測量數(shù)據(jù)

1. 按[5]或[6]鍵。
2. 按[CAL]鍵。
   “del” 即刪除將顯示2 秒鐘。
3. 在“del”顯示的時候按[OK]鍵。
4. 德國菲希爾MPO測厚儀內(nèi)所有測量數(shù)據(jù)將被刪除。
   當(dāng)“del”不顯示的時候按[OK]鍵將無任何反應(yīng)。??

?4 一組測試結(jié)果的評估（統(tǒng)計功能）

前提：-在數(shù)據(jù)存儲器中至少存有2個讀數(shù)。

-圖標(biāo)[RES] 在顯示屏中出現(xiàn)。

注意：在開始一組結(jié)果的評估前需要將數(shù)據(jù)存儲器清空。

一組測試結(jié)果的統(tǒng)計評估

1. 按[OK]鍵進(jìn)入結(jié)果評估程序。首先顯示的統(tǒng)計值為X（平均值）。
2. 按[5]或[6]鍵選擇查看下一個統(tǒng)計值（見下表）。
3. 再次按[OK]鍵，結(jié)果評估程序結(jié)束。更多的測量結(jié)果將被添加到數(shù)據(jù)組中。

?在統(tǒng)計值之后，“del”將在顯示屏上出現(xiàn)，按[OK]鍵可以清空數(shù)據(jù)存儲器。

顯示屏上統(tǒng)計評估數(shù)據(jù)的意義

5 歸一化

歸一化用來對測量儀器進(jìn)行調(diào)整。換句話說，你告知儀器真正的測量厚度的“零點”在何處。歸一化需要未鍍過的底材，而且底材的形狀和物料必須和被測量的工件一致。

注意：歸一化會刪除所有的內(nèi)存數(shù)據(jù)。

如何歸一化儀器 (前提:儀器處于開啟狀態(tài))

1. 按[CAL]鍵. 顯示"Base" (即“未鍍過的底材”).
2. 在底材上測量五次左右
   每次測量后，會顯示當(dāng)前的讀數(shù)。
3. 按兩次[OK] 鍵.
   屏幕顯示“Er17”，忽略它。
   完成歸一化程序。

6 校準(zhǔn)

校準(zhǔn)需要有下面幾項東西：未鍍過的底材（形狀和底材物料要與待測部件一致）和一片標(biāo)準(zhǔn)片(儀器隨機的75 μm左右標(biāo)準(zhǔn)片)。 注意：校準(zhǔn)將刪除內(nèi)存中的所有讀數(shù)。

如何校準(zhǔn)儀器（前提：儀器必須打開）

1. 按[CAL]鍵。
   顯示"Base" (即“未鍍過的底材”)
2. 在底材上測量五次左右.
   每次測量后，會顯示當(dāng)前的讀數(shù)。
3. 按[OK]鍵.?
   顯示0.00 和 STD1(即校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片# 1).
4. 把校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片放在底材上，并測量5次左右。
   每次測量后，屏幕上會顯示當(dāng)前讀數(shù)。
5. 用[5] 或[6]鍵調(diào)整第4步的后一個數(shù)值至標(biāo)準(zhǔn)片的標(biāo)稱值， 如“75 μm”。 標(biāo)準(zhǔn)片的標(biāo)稱值注明在標(biāo)準(zhǔn)片上。
6. 按[OK]鍵。
   完成校準(zhǔn)程序. 儀器返回測量狀態(tài).

7 刪除校準(zhǔn)資料 / 恢復(fù)初始曲線

有時，如果經(jīng)過校準(zhǔn)后，儀器測量仍然不準(zhǔn)確，則可以刪除校準(zhǔn)參數(shù)。如果先前的校準(zhǔn)程序沒有正確進(jìn)行的話，就可能會發(fā)生這種情況。
在這種情況下，可以把特征曲線恢復(fù)到原始的出廠設(shè)定。
?

刪除儀器的校準(zhǔn)參數(shù) （前提：儀器必須打開）

1. 按[CAL]鍵. 屏幕上顯示"Base" (即“底材”) .
2. 在底材上測量5次左右.
3. 按[OK]鍵. 顯示“STD1" (即校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片# 1) .
4. 在底材上測量1次.
   屏幕將顯示0左右的讀數(shù).
5. 用[5] 或[6] 鍵將STD1調(diào)整到0.00 .
   屏幕將顯示“0.00?? STD1” .
6. 按[OK] 鍵?；謴?fù)到初始的特征曲線。
   恢復(fù)完成。 儀器現(xiàn)在可以測量了。

8 更改測量結(jié)果的單位(μm <-> mils)

如何更改測量結(jié)果的單位

1. 在關(guān)機模式下（儀器沒有任何顯示），按[CAL]鍵并且按住不放。

2. 按OK鍵開啟機器，松開[CAL]鍵。儀器發(fā)出嗶聲并開機。在顯示屏上出現(xiàn)信息“YES”，持續(xù)1秒鐘。

3. 在出現(xiàn)信息“YES”時，按[OK]鍵，完成測量結(jié)果的單位更改μm -> mils或mils -> μm。

注意：如果沒有在規(guī)定時間內(nèi)按下[OK]鍵，在顯示屏上將只出現(xiàn)“----”，測量結(jié)果的單位將不會改動。

9 技術(shù)資料

10 儀器及附件的訂貨資料